Hiện nay bởi tính ứng dụng trong nhiều ngành công nghiệp khác nhau mà phòng sạch ngày càng phổ biến và thông dụng. Tuy nhiên, để hiểu hết về phòng sạch là không hề đơn giản. Trước tiên, bạn nên tìm hiểu các thuật ngữ chuyên ngành phòng sạch.
Cùng tham khảo một số thuật ngữ kỹ thuật sử dụng trong phòng sạch phổ biến hiện nay:
Cleanroom (Phòng sạch)
Một căn phòng hoặc bất kỳ môi trường nào, nơi các chất gây ô nhiễm được kiểm soát trong giới hạn quy định. Không khí được dẫn qua phòng để kiểm soát mức độ hạt trong không khí và trong một số trường hợp là nhiệt độ và độ ẩm. Mức độ kiểm soát ô nhiễm tách biệt một loại phòng sạch với một loại phòng sạch khác.
HEPA (High Efficiency Particulate Air)
Bộ lọc HEPA bao gồm một tấm sợi được sắp xếp ngẫu nhiên, thường được cấu tạo từ sợi thủy tinh có đường kính từ 0,5 đến 2,0 micron. Nó được sử dụng để loại bỏ 99.9% các hạt nhỏ tới 0,3 micron.
ULPA
Là viết tắt của cụm từ Ultra Low Particulate Air nghĩa tiếng Việt là bộ lọc bụi cực nhỏ trong không khí. Tương tự HEPA, ULPA có tác dụng trong trong lọc không khí. Có thể giữ lại tới 99,999% các tiểu phân có kích thước siêu nhỏ tới 0,12 micron.
Airlock (Phòng ngăn không khí)
Đây là phòng đặt giữa phòng sạch và khu vực bên ngoài và nó có tác dụng là phòng đệm hay phòng trung chuyển khi vận chuyển vật liệu vào hay ra khỏi khu vực phòng sạch.
Air flow rate (Lưu lượng dòng khí)
Là thể tích dòng khí trong mỗi đơn vị thời gian Airshower- buồng thổi khí hay phòng tắm khí: là phòng nhỏ trong đó có bố trí các vòi phun khí nén để làm sạch nhân viên trước khi đi vào khu vực phòng sạch.
Air Plenum
Là khoảng trống giữa tường trong và tường ngoài hoặc giữa trần phòng sạch và sàn mái. Không khí được cung cấp vào khoảng thông tầng trần và sau đó chảy qua bộ lọc HEPA hoặc ULPA vào phòng sạch và được đưa trở lại thông qua khoảng thông tầng kép trở lại bộ lọc để được tuần hoàn.
Clean Zone
Là khu vực sạch, đây được hiểu là một không gian được phân định, các hạt có trong không khí tập trung và được kiểm soát ở dưới mức độ cho phép.
Clean Room Suits
Quần áo sạch, hay thường được gọi là “bộ quần áo thỏ” và được mặc trùm bên ngoài quần áo thông thường. Bộ quần áo này được làm từ vải không dệt bằng sợi chống tĩnh điện.
Flooring System
Hệ thống sàn tùy thuộc vào yêu cầu cụ thể mỗi phòng sạch lại sử dụng các loại sàn khác nhau. Vật liệu làm sàn cũng hết sức đa dạng, thường sử dụng các loại vật liệu kiểm soát tĩnh điện.
Ceiling Grid System
Hệ thống khung của trần nhà là cấu trúc xây dựng trên đó lắp đặt hệ thống chiếu sáng và lọc không khí cho phòng sạch.
Cleanroom Partitions
Các tấm ngăn trong phòng sạch là các tấm tường được sử dụng để ngăn phòng sạch thành nhiều khu vực sạch đáp ứng các yêu cầu sạch khác nhau.
Clean Room Tables
Bàn làm việc trong phòng sạch là bàn có mặt bàn được đột lỗ hoặc đặc, đáp ứng các yêu cầu của phòng sạch.
Pre Filter
Các bộ lọc có thể thay thế giúp loại bỏ các chất gây ô nhiễm lớn khỏi không khí trước khi nó được tuần hoàn qua các bộ lọc HEPA hoặc ULPA để làm sạch lần cuối.
Particulate
Hạt là ô nhiễm trong không khí, hoặc ô nhiễm sinh ra từ một quá trình.
Pass Box
Đây là một trong những thiết bị phòng sạch quan trọng, là 1 buồng để chuyển các vật phẩm giữa phòng sạch và phòng bên ngoài. Áp suất cao hơn trong phòng sạch sẽ đẩy các hạt ra ngoài khi cửa bên trong mở ra. Lưu lượng ra vào phòng sạch ít hơn có nghĩa là ít cơ hội cho các chất gây ô nhiễm xâm nhập hơn.
Sticky Mat
Là một tấm thảm đặc biệt đặt ở lối vào phòng sạch, được phủ một lớp keo để loại bỏ bụi bẩn và các hạt khác bám trên giày.
Recovery
Là tốc độ phòng tự dọn dẹp và trở lại bình thường được gọi là tốc độ phục hồi.
Testing & Certification
Để đảm bảo rằng phòng sạch của bạn đáp ứng các tiêu chuẩn quy định, nên thử nghiệm và chứng nhận của chính phòng đó, cũng như các bộ phận chính. Các bộ lọc HEPA và ULPA, thiết bị dòng chảy tầng, thiết bị ion hóa, tủ an toàn và thiết bị HVAC, và các loại khác, được khuyến nghị kiểm tra hàng năm.
Electrostatic Discharge (ESD)
Phóng điện do tĩnh điện là sự giải phóng điện tích không có kiểm soát của điện thế, nó cũng được gọi là “điện giật” và dễ dàng phá hỏng các sản phẩm bán dẫn.
Equipment Layout (Mặt bằng triển khai thiết bị)
Là bản tóm tắt về phòng sạch và các khu vực chức năng khác cần thiết liên kết ăn khớp với nhau về chức năng và phối hợp hoạt động.
Operational
Khi phòng sạch được trang bị đầy đủ và có nhân viên, phòng sạch được coi là hoạt động. Đây là cấp độ kiểm tra khó vượt qua nhất vì nó bao gồm nhân sự, thành phần bẩn nhất của một phòng sạch đang hoạt động. Con người có thể thải ra hàng trăm nghìn hạt mỗi giờ.
